
集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。
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規(guī)格 |
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| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
| (落射照明型) | (透射/落射照明型) | |
| 主機 |
內置12V-50W鹵素燈光源;內置用于電動控制器的電源 |
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用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、 |
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光圈葉片控制器 |
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物鏡轉換器:具備物鏡轉換器 |
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對中功能的電動通用六座物鏡轉換器 |
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| — | 反射/透射切換器 | |
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調焦 部分 |
對焦部:行程29mm |
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粗調:12.7mm/轉(可扭距調節(jié).帶重新對焦機能) |
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微調:0.1mm/轉(以um為單位) |
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反射 照明部 |
12V50W高亮度鹵素燈照明裝置 |
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孔徑光闌(電動.可調心)、視場光闌(固定.帶對焦目標) |
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可插入小孔光闌滑塊(OPTION) |
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可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器 |
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觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光 |
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(僅用于L300N/L300ND/L200ND) |
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透射 照明部 |
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12W50W高亮度鹵素燈 |
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內置孔徑光闌 |
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內置LWD聚光器 |
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| 接口 | USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
| 鏡筒 |
L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角0~30°) |
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視場數(shù)25、光分光100:0/0:100 |
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L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0~30°) |
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視場數(shù)25、光分光100:0/20:80 |
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LV-T13正立三目鏡筒 |
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視場數(shù)25、光分光100:0/0:100 |
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| 目鏡 | CFI目鏡 | |
| 物鏡 | CFI60系列物鏡 | |
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載物臺 |
14x12載物臺、行程354mmx302mm |
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(透射觀察范圍:354mmx268mm) |
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帶粗/微動切換功能 |
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微動手輪位置固定 |
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防靜電 功能 |
從1000到10V放電時間在0.2秒以內 | |
| 耗電 | 1.2A/90W | |
| 尺寸 | 約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時) | |
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