
多樣化應(yīng)用
測定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。
反射率測定光路圖
反射率測定例:鏡片 反射率測定例:鏡片周邊部位
測定膜厚
活用反射率數(shù)據(jù),測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。
膜厚測定的圖例
測定物體顏色
根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。
物體色的測定圖例
測定透過率 (選配)

透過率測定光路圖
測定入射角為45度的反射率(選配)
從側(cè)面向45度面反射?2mm的平行光,測定其反射率。
45度反射率測定光路圖
域的高精度&高速測定
實(shí)現(xiàn)高速測定
使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長同時(shí)分光測定,從而實(shí)現(xiàn)高速測定。
光學(xué)系圖
最適用于測定細(xì)小部件、鏡片的反射率
新設(shè)計(jì)了可以在?17~70μm的測定區(qū)域中進(jìn)行非接觸測定的專用物鏡。通常的分光光度計(jì)不能進(jìn)行測定的細(xì)小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測定。
反射率測定圖例
測定反射率時(shí),不需要背面防反射處理
消除背面反射光的原理
將專用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測物背面的防反射處理,就可測定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時(shí),在本公司的測定條件下進(jìn)行測定。
可選擇的膜厚測定方法
根據(jù)測定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕?jù)用途選擇合適的測定方法。
峰谷法
峰谷法膜厚解析經(jīng)過信息圖例
這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于測定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡單地求出。
傅里葉轉(zhuǎn)換法
傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過信息圖例
這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。
曲線調(diào)整法
曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過信息圖例
這是一種通過推算測定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計(jì)算的反射率的差達(dá)到最小的構(gòu)造計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進(jìn)行不會(huì)出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。
多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對(duì)多樣化測定需求。
通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評(píng)價(jià)、物體顏色測定、膜厚測定。
適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。
適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。
適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。
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