 前面板 [1] 照明強(qiáng)度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié) |
在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開(kāi)閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開(kāi)對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度，能夠防止錯(cuò)誤操作。 |
 傾斜鏡筒示意圖 |
為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無(wú)關(guān)的舒適觀察姿勢(shì)，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。 |
 內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄 |
對(duì)應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，快速完成檢查。 |
 明視場(chǎng)觀察 |
 暗視場(chǎng)觀察 |
 微分干涉觀察 |
 熒光觀察 |
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電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類 型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。 |
 AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖 |
每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級(jí)），只要切換物鏡就能以最合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。 |
 自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm 規(guī)格）組合 |
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無(wú)接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開(kāi)始和保存都可以在手中快速完成。 |
 近紅外線觀察單元 |
 粘合襯墊 |
 熒光鏡單元 |
 熒光觀察 |
透射照明單元
 透射照明單元 |
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。 |
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