MX61A大尺寸智能型全自動顯微鏡詳細介紹：
始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
 明視場觀察 |
 新暗視場觀察 |
 傳統(tǒng)的暗視場觀察 |
 亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖 |
物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。 |
 深紫外線觀察用物鏡 |
MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能好。新開發(fā)的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現(xiàn)了追蹤觀察位置的實時對焦。 |
 物鏡UIS2系列產(chǎn)品 |
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。 |
 明視場觀察 |
 暗視場觀察 |
 微分干涉觀察 |
 熒光觀察 |
 近紅外線觀察（左）和可見 光線觀察（右）的比較 |
 適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模塊 |
"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制。這個應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機、電動載物臺等外圍設(shè)備。一直以來，必需進行若干個操作才能實現(xiàn)的觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要點擊就能順利完成。該軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。 |
 顯微鏡控制軟件顯示畫面 |
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動載物臺*1等。對于數(shù)碼照相機*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實況影像時單擊需觀察的地方，快速移動到視場中心、實況計量和檢測、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實現(xiàn)。 *1對應(yīng)本公司推薦的電動載物臺 *2對應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司推薦的IEEE1394數(shù)碼照相機 |
 傾斜觀察筒示意圖 |
備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。 |
 潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器 |
備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器。 6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。 |
 高倍率觀察圖像示意圖 |
采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。 |
 手控開關(guān)操作部 |
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。 |
 晶圓搬送機 |
可以對應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。 |
 自動載物臺 |
備有對應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺。通過PC控制，可以實現(xiàn)檢查、不良分析功能。 |
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